计划概略
Program overview
晶圆划片：是颠末一系列半导体制作工艺构成极细小的电路布局，
再经🌼切工、封口、测试软件变成单片机芯片，基本上通过到各种各样ꦛ光学设备的时候。也半导体设备处理芯片建设方法流程步骤中的一块必切不可少的流程，
将做集成电路处理存储芯片的整片晶圆按集成电路处理存储芯片谦冲朋分成从单一的集成✨电路处理存储芯片（晶粒度），被称为晶圆小学划片。
&nb💃sp; 在晶圆划片行业，一个是传统意ꦚ义小学划片拥有下面的代表性：
● 切刀划区直接感召于晶圆形象，在晶状体外部结构存在毁伤，轻而易举存在晶圆崩边及晶片损坏；
● 美工刀都具有所的的厚度，造成的普通刀具的小学划片线宽更大；
● 医疗耗材大，车刀刀片需每半块月改换一次性；
● 生态静化大，割切后的硅粉水难应对。
而皮秒激光小学划片属于非打仗式加工，能够防止以上环境的产生。
典范利用
typical application
融洽机光裁割/小学划片
皮秒激光享有在聚价值体系可小到亚2um数额级的上风, 于是对晶圆的微工作更高邃密严谨, 都可以消停小零配件的工作。
然而我不高的电磁能力的程度下, 怎样才能获得了较高的能力相对密度, 有的用地为止原料生产制作。
利于于半导体技术技术设计行业中单、双厨房操作台板磨砂玻璃钝化稳压管晶圆；单、双厨房操作🐷台板可控性硅晶圆；IC晶圆裁切🌜等半导体技术技术晶圆片的裁切片区。
激光划片速率快，高达150mm/s
客户收益
Customer revenue
●激光机器🌠裁切/划区尊重的高粒子束高质⛦量的光仟智能机械器对集成ic的电性直接影响小，可思想进步的片区产品率；
● 要对区分体积尺寸的晶圆终止学习方法，存在更多的兼容模式和公用性；
● 就可以切开一下较繁杂的晶圆存储芯片，如六角管芯等；
● 不需要去阴阳离子水，不具备数控刀具有损坏考题，并可连续24几小时完课。
| 划片设备 | 传统划片体例（砂轮） | 激光划片体例（激光） |
| 锯开传输率 | 5-8mm/s | 1-150mm/s |
| 激光切割线宽 | 30～40纳米 | 30～45毫米 |
| 切除可是 | 易崩边，开裂 | 腻滑白皙，不会受损 |
| 热后果区 | 比较大的 | 较小 |
| 残留物弯曲应力 | 较高 | 极小值 |
| 对晶圆板厚为提起 | 100 um上面 | 基石无壁厚要求 |
| 历史潮流性 | 的区别示例晶圆片需改换厨房刀具 | 可历史潮流差距范本晶圆片 |
| 可有有浪费 | 需去正离子水，改换数控刀具上的，耗费大 | 耗损极小 |
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